2005/09/15
詳細情報
| 論文名 | 高速ピエゾステージによる非軸対称非球面形状の加工と評価 |
| 著者 | *山形 豊, 鈴木 浩文, 樋口 俊郎, 飯田 勝彦, 吉田 和史, 牧野 清俊, 大森 整 |
| キーワード | 非軸対称非球面, ファストツールサーボ, 超精密加工 |
| 掲載先 | 精密工学会 |
| 発行日 | 2005年9月15日 |
| 抄録 | 高速·高剛性なピエゾステージとリニアモータによる4軸超精密加工装置を組み合わせ、小径の非軸対称非球面形状の加工を行った。前報では装置の概略構成について報告したが、本報では、加工装置の高速化と加工形状の詳細な評価について報告する。 |
| 掲載先URL | https://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2005A/0/2005A_0_441/_article/-char/ja/ |