2005年9月15日【精密工学会】高速ピエゾステージによる非軸対称非球面形状の加工と評価

2005/09/15

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論文名高速ピエゾステージによる非軸対称非球面形状の加工と評価
著者*山形 豊, 鈴木 浩文, 樋口 俊郎, 飯田 勝彦, 吉田 和史, 牧野 清俊, 大森 整
キーワード非軸対称非球面, ファストツールサーボ, 超精密加工
掲載先精密工学会
発行日2005年9月15日
抄録高速·高剛性なピエゾステージとリニアモータによる4軸超精密加工装置を組み合わせ、小径の非軸対称非球面形状の加工を行った。前報では装置の概略構成について報告したが、本報では、加工装置の高速化と加工形状の詳細な評価について報告する。
掲載先URLhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2005A/0/2005A_0_441/_article/-char/ja/

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