2010/02/25
詳細情報
| 論文名 | 金属ガラス製マイクロ微細部品の精密成形（第２報） |
| 著者 | *鈴木 浩文, 町田 一道, 牧野 俊清, 向畑 大輔, 柴坂 敏郎 |
| キーワード | 精密成形, 金属ガラス, マイクロ部品 |
| 掲載先 | 精密工学会 |
| 公開日 | 2010年2月25日 |
| 抄録 | LSIは製造過程においてICプローブにより電気特性を検査するが，近年，LSIの微細化・高集積化により電極パッドは狭ピッチ化し，そのためICプローブにも微細化と狭ピッチ化が必要となっている．より微細なICプローブを開発するために，本研究では金属ガラスに着目し，金型の切削加工，放電加工による転写と，金属ガラスのガラスプレスなどのプロセスを複合化し，微細部品の創成を行ったので報告する． |
| 掲載先URL | https://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2009A/0/2009A_0_55/_article/-char/ja/ |