2010年2月25日【精密工学会】金属ガラス製マイクロ微細部品の精密成形(第2報)

2010/02/25

詳細情報

論文名金属ガラス製マイクロ微細部品の精密成形(第2報)
著者*鈴木 浩文, 町田 一道, 牧野 俊清, 向畑 大輔, 柴坂 敏郎
キーワード精密成形, 金属ガラス, マイクロ部品
掲載先精密工学会
公開日2010年2月25日
抄録LSIは製造過程においてICプローブにより電気特性を検査するが,近年,LSIの微細化・高集積化により電極パッドは狭ピッチ化し,そのためICプローブにも微細化と狭ピッチ化が必要となっている.より微細なICプローブを開発するために,本研究では金属ガラスに着目し,金型の切削加工,放電加工による転写と,金属ガラスのガラスプレスなどのプロセスを複合化し,微細部品の創成を行ったので報告する.
掲載先URLhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2009A/0/2009A_0_55/_article/-char/ja/

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