2007年9月1日【精密工学会】超音波援用研磨による高NAマイクロ非球面金型の超精密研磨:同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置の開発

2007/09/01

詳細情報

論文名超音波援用研磨による高NAマイクロ非球面金型の超精密研磨:同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置の開発
著者鈴木 浩文, *稲垣 彰徳, 沖野 正, 土方 祥雄, 森脇 俊道, 近藤 光男, 樋口 俊郎, 牧野 俊清
キーワードマイクロ非球面研磨, ワーク傾斜テーブル, 超硬合金, 高NAレンズ, 金型研磨
掲載先精密工学会
公開日2007年9月1日
抄録本研究では,これまでに直線振動を用いた超音波援用研磨法を開発し,従来の回転工具等を用いた研磨法では自動化が困難であった直径2 mm以下のマイクロ非球面金型に対し研磨加工の自動化を可能とした.近年,高NAの非球面レンズのニーズが増大しており,本研究ではそれらに対応するために,同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置を開発し,その効果を評価した.
掲載先URLhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2007S/0/2007S_0_553/_article/-char/ja/

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