2008年3月28日【精密工学会】超音波2軸振動によるマイクロ非球面金型の超精密研磨:超音波2軸振動子の開発

2008/03/28

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論文名超音波2軸振動によるマイクロ非球面金型の超精密研磨:超音波2軸振動子の開発
著者鈴木 浩文, *稲垣 彰徳, 沖野 正, 土方 祥雄, 近藤 光男, 山形 豊, 樋口 俊郎, 牧野 俊清, 森脇 俊道
キーワードマイクロ非球面研磨, 超硬合金, 金型研磨, 圧電素子, 超音波振動
掲載先精密工学会
公開日2008年3月28日
抄録本研究では,これまでに超音波振動援用研磨法を開発し,従来の回転工具等を用いた研磨法では自動化が困難であった直径2 mm以下のマイクロ非球面金型に対し研磨加工の自動化を可能とした.近年の更なる高精度,高効率な金型加工のニーズに対応するため,本研究ではそれら実現する超音波2軸振動子を搭載した研磨装置を開発し,その効果を評価した.
掲載先URLhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2007A/0/2007A_0_121/_article/-char/ja/

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