2008年3月28日【精密工学会】非球面形状のオンマシン計測システムの開発(第2報):サイアロン製超精密測定ユニットの試作と接触角一定走査法による形状測定精度の評価

2008/03/28

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論文名非球面形状のオンマシン計測システムの開発(第2報):サイアロン製超精密測定ユニットの試作と接触角一定走査法による形状測定精度の評価
著者鈴木 浩文, *大西 孝, 木下 孝彦, 沖野 正, 土方 祥雄, 福田 雅彦, 菅原 潤, 山形 豊, 樋口 俊郎, 牧野 俊清
キーワード機上測定, サイアロン製プローブ, 超精密非球面, 金型, エアープローブ
掲載先精密工学会
公開日2008年3月28日
抄録近年,光学デバイスなど,非球面形状の超精密機上計測の必要性が高まりつつある.従来のプローブを用いた測定方法では,測定圧や温度変化によるプローブの変形,測長計のドリフトといった問題がある.そこで本研究では,高剛性・低熱膨張・軽量のセラミック製のエアベアリングスライドプローブを試作し、また斜軸プローブを用いた接触角一定走査法にを開発し,非球面金型の形状測定評価を行った.
掲載先URLhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2007A/0/2007A_0_123/_article/-char/ja/

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